技术原理
初级X射线激发系统
由高功率X射线管产生连续谱系X射线,通过准直器聚焦后定向辐照样品表面。入射X射线与样品原子发生光电效应,致使K/L层电子发生电离形成空穴。
特征X射线发射机制
激发态原子通过俄歇电子发射或特征X射线辐射两种弛豫途径释放能量。其中,外层电子填补内层空位时释放特定能量的荧光X射线,其波长遵循莫塞莱定律(Moseley's law),满足公式√(1/λ)=k(Z−σ),形成元素指纹谱线。
多道能谱解析系统
配置硅漂移探测器(SDD)或比例计数器,通过脉冲高度分析器将光子能量转化为电信号。配合FP法(基本参数法)或经验系数法进行解谱,实现ppm级元素定量检测,检出限达0.01%-0.1%。
应用场景拓展
工业质检:RoHS指令重金属筛查(Cd/Pb/Cr⁶⁺/Hg/BDE/PBB)、合金牌号鉴别(304/316不锈钢)
地质勘探:岩心原位多元素测绘(Fe/Cu/Au等成矿元素)
环保监测:土壤重金属污染三维分布分析(As/Cd/Hg空间扩散模型)
考古鉴定:青铜器Cu-Sn-Pb三元相图构建辅助断代
标准化操作规范
辐射安全管理体系
执行ALARA原则(合理可行辐射),工作区设置铅屏蔽体(≥2mmPb当量)
实时剂量监测(控制区<2.5μSv/h,监督区<0.5μSv/h)
操作人员配备个人TLD剂量计,建立年度累积剂量档案
样品制备规程
金属样品:碳化钨研磨至Ra<0.8μm,消除表面偏析效应
粉末样品:硼酸镶边压片法(压力>20T,保压120s)
液体样品:专用聚乙烯杯配合6μm聚酯膜密封防挥发
质量控制体系
每日开机执行能量校准(Cu-Kα:8.04keV,Ag-Kα:22.1keV)
每周验证检出限(NIST SRM 610玻璃标样)
每季度进行重复性测试(RSD<1.5%)
技术优势总结
XRF技术凭借其非破坏性检测(NDT)、多元素同步分析(Si-U全谱覆盖)及秒级检测速度,已成为现代材料分析的核心手段。配合微区聚焦技术(μ-XRF)可实现50μm级空间分辨率,结合同步辐射光源更可提升灵敏度至ppb级,在半导体缺陷检测、锂电池极片涂布均匀性评价等领域展现优势。
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